“當(dāng)前，業(yè)界euv主要采取的辦法，是將二氧化碳激光照射在錫等靶材上，激發(fā)出13.5nm的光子，作為光刻機光源?！?/br>
    辛啟天說著，臉上一副不以為然的樣子。

    身為開掛大佬，時間長了，自然要有這樣的驕傲情緒。

    盡管他自己在這些領(lǐng)域中，并沒有任何新技術(shù)新知識點的研發(fā)，僅僅是已經(jīng)學(xué)習(xí)熟知當(dāng)前體系。

    但是，依靠強大的開掛后的能力，讓辛啟天非常敏銳的察覺，其實現(xiàn)有的光刻機技術(shù)，非常簡陋。

    光刻是集成電路最重要的加工工藝，就好比傳統(tǒng)制造業(yè)車間中車床的作用。

    在整個芯片制造工藝中，幾乎每個工藝的實施，都離不開光刻的技術(shù)。

    光刻也是制造芯片的最關(guān)鍵技術(shù)，占據(jù)芯片制造成本的35%以上。

    在如今的科技與社會發(fā)展中，光刻技術(shù)的增長，直接關(guān)系到大型計算機的運作等高科技領(lǐng)域。

    而現(xiàn)如今的光刻機，其實仍然處于最原始的量變積累。

    運行時，依靠龐大的電力吞吐，吸取足夠龐大的能量，來讓機器運作！

    大力出奇跡嘛，就像是前幾個世紀(jì)中，軍工產(chǎn)品里，人們?nèi)级⒅卮蠡鹋谌パ芯浚?/br>
    談到了詳細的技術(shù)信息，在場眾人，有不少并不清楚。

    于是乎，都沒有再發(fā)言，紛紛一臉小學(xué)生認真臉。

    “光刻機，有點類似于照相機照相。照相機拍攝的照片是印在底片上，而光刻是刻電路圖和其他電子元件。”

    “把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來。利用光刻機發(fā)出的光，通過具有圖形的光罩，對涂有光刻膠的薄片曝光?！?/br>
    “光刻膠見光后會發(fā)生性質(zhì)變化，從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上，薄片就有了電子線路圖的作用?！?/br>
    “光刻實時上，也不過六七十年發(fā)展歷史?！?/br>
    “47年，貝爾實驗室發(fā)明第一只點接觸晶體管。59年，仙童半導(dǎo)體研制世界第一個適用單結(jié)構(gòu)硅晶片?！?/br>
    “60年代，仙童提出cmosic制造工藝，并且建立了世界上第一臺2英寸集成電路生產(chǎn)線。gca公司開發(fā)出光學(xué)圖形發(fā)生器和分布重復(fù)精縮機。”

    “70年代，gca開發(fā)出第一臺分布重復(fù)投影曝光機，集成電路圖形線寬從1.5μm縮小到0.5μm節(jié)點。”

    “80年代，svgl公司開發(fā)出第一代步進掃描投影曝光機，集成電路圖形線寬從0.5μm縮小到0.35μm節(jié)點?！?/br>
    “90年代中后期，光學(xué)光刻分辨率到達70nm的極限?！?/br>
    “新世紀(jì)以來，業(yè)內(nèi)在已經(jīng)不得不動手研究，包括極紫外線光刻技術(shù)，電子束光刻技術(shù)，x射線光刻技術(shù)，納米壓印技術(shù)等。”

    “現(xiàn)有的光刻機構(gòu)造，一般分為，照明系統(tǒng)、stage系統(tǒng)、鏡頭組、搬送系統(tǒng)、alig系統(tǒng)。”

    “新的各種光刻技術(shù)研究中。普遍的把軟x射線投影光刻稱作極紫外投影光刻?！?/br>
    “當(dāng)前，對極紫外投影光刻euv技術(shù)的研究最為深入，也取得了突破性的進展，使極紫外投影光刻技術(shù)最有希望被普遍使用到以后的集成電路生產(chǎn)當(dāng)中?！?/br>
    “是距實用化最近的一種深亞微米的光刻技術(shù)?！?/br>
    “業(yè)內(nèi)，普遍有一種認知，如果不早點推出極紫外光刻技術(shù)，來對當(dāng)前的芯片制造方法做出全面的改進，將使整個芯片工業(yè)處在岌岌可危的地步?！?/br>
    “所以，其實新時代的節(jié)點，變革點，已經(jīng)能夠清晰的預(yù)見?！?/br>
    “極端紫外光刻技術(shù)所使用的光刻機的對準(zhǔn)套刻精度要達到10nm，其研發(fā)和制造原理實際上和傳統(tǒng)的光學(xué)光刻在原理上十分相似?！?/br>
    “對光刻機的研究重點，是要求定位要極其快速精密，以及逐場調(diào)平調(diào)焦技術(shù)。因為光刻機在工作時拼接圖形，和步進式掃描曝光的次數(shù)很多。不僅如此，入射對準(zhǔn)光波信號的采集，以及處理問題還需要解決?！?/br>
    “euv技術(shù)的進展還是比較緩慢的，投資巨大。當(dāng)前，其實沒有幾家廠商，能夠?qū)⑦@項技術(shù)應(yīng)用于生產(chǎn)中。唯一的asml公司，做出來的東西，也僅僅算是勉強能用?！?/br>
    “各家廠商都清楚，半導(dǎo)體工藝向往下刻，使用euv技術(shù)是必須的。波長越短，頻率越高，光的能量正比于頻率，反比于波長。”

    “但是因為頻率過高，傳統(tǒng)的光溶膠直接就被打穿了?，F(xiàn)在，半導(dǎo)體工藝的發(fā)展已經(jīng)被許多物理學(xué)科從各個方面制約了。”

    “現(xiàn)在的問題的是，第一，euv光刻機造價太高，好幾千萬優(yōu)元?！?/br>
    “第二，沒有真正合適的光源。”

    “第三，沒有合適的掩模。第四，未研發(fā)出合適的光刻膠！”

    “所以，我是打算，咱們可以在光源上，琢磨琢磨?！?/br>
    說道這里，辛啟天頗有些意猶未盡舔了下嘴角，眼神放光的說道：“其實如果不考慮整體行業(yè)發(fā)展，我個人，更想去研究電子束光刻?！?/br>
    “用電子源發(fā)出電子束，經(jīng)過掩膜和電子透鏡，將圖案投射到硅片上，從而形成電子線路！”

    “但是，電子束高精度掃描成像曝光效率低。在抗蝕劑和基片中的散射和背散射現(xiàn)象，造成的鄰近效應(yīng)。以及其他很多問題。”

    “整個行業(yè)，目光都不聚集在這里?！?/br>
    “領(lǐng)先一步是天才，領(lǐng)先十步就是瘋子。”

    “不過，我對這東西，非常感興趣。如果能做的好，可以應(yīng)用于量子元器件等等生產(chǎn)。甚至，還可以搞粒子束武器?！?/br>
    停頓了片刻，最終，辛啟天還是沒有把內(nèi)心深處的想法說出來。

    那就是，電子束如果技術(shù)進一步成熟，完備到最基礎(chǔ)的粒子階段。對于他搞出來的常溫超導(dǎo)體生產(chǎn)制造，應(yīng)該是有一定幫助。

    或許可以擺脫巨大能耗，來保持超導(dǎo)體狀態(tài)的機器桎梏。

    當(dāng)然，僅僅是有可能。

    在學(xué)習(xí)這些理論當(dāng)中，辛啟天的一點發(fā)散性思維罷了。他并沒有完全深入去研究。

    一直以來，辛啟天都不會很深入的脫離現(xiàn)實，去研究高深的理論知識。

    相比于科學(xué)家來說，辛啟天更像是一個工程師！他最童真的愿望，就是制造出各種幻想當(dāng)中的機器。而不是單純在理論中，尋找未來的理論。

    最初研究量算，是因為辛啟天必須尋找，拿出一個有力的成果，來增加自己強大的底氣和實力。

    東西是研究出來的，但完全沒有市場應(yīng)用效應(yīng)。一臺大型量算，造價高達近百億優(yōu)元。運行中，每年也得好幾十億投進去。

    根本就是入不敷出。

    如果沒有ai的加成，如果不是辛啟天開掛。這東西運行起來，也不一定能夠幫助科學(xué)發(fā)展。

    開機一段時間，消耗的投資，根本不足以正?？茖W(xué)家進行任何有效的研究。完全浪費資金！

    qlts量算出來了好些年。

    可是受制于現(xiàn)實科學(xué)技術(shù)因素，辛啟天一直無法真的有效解決應(yīng)用的問題。

    單一的微型量子元器件，他都不知道該怎么生產(chǎn)出來。

    理論積累，這些年斷斷續(xù)續(xù)倒是有不少。生產(chǎn)工藝技術(shù)，如果能夠達成，那么對于世界的影響，絲毫不亞于啟天ai的出現(xiàn)！

    在發(fā)現(xiàn)電子束一些模糊的前景后，辛啟天心理撓癢癢一樣，很想去研究。

    可是，必須立足于現(xiàn)實。他最終還是決定，去琢磨euv技術(shù)。

    沒辦法，沒有整個生產(chǎn)鏈體系效應(yīng)。就像是最開始的量算，造出來，也僅僅是表明自己強大底氣。

    問題是，該知道的人，已經(jīng)知道了。

    其他不用炫耀的地方，自然不會炫耀。沒名沒利，只是滿足自我內(nèi)心問道精神。

    辛啟天在開掛十多年后，已經(jīng)成熟起來。能夠?qū)W會選擇，學(xué)會放棄。

    正是基于前世積累，辛啟天不是一個單純的一位追求求知欲的科學(xué)家。而是個現(xiàn)實的工程師。

    因為，科學(xué)家發(fā)起瘋來，比如說搞生命科學(xué)。

    一旦不懂得選擇和放棄，那么，很有可能帶來極為恐怖嚴重的后果！

    人類文明，甚至都會發(fā)生改變。

    在一些個場合，新聞媒體上，國內(nèi)高校推辭不過去的演講中，辛啟天多次提到過這個概念和思考。

    沉思良久，辛啟天很是遺憾的嘆息一聲，“算了，不提粒子束，弦網(wǎng)液體這些東西?！?/br>
    “我們言歸正傳！”

    “我的看法是，直接上手euv技術(shù)，先從光源研究?！?/br>
    “光源由光的產(chǎn)生、光的收集、光譜的純化與均勻化三大單元組成。”

    “最初光刻機，是采用汞燈產(chǎn)生的436nmg-line和365nmi-line作為光刻光源。后來采用248nm的krf準(zhǔn)分子激光作為光源，將最小工藝節(jié)點提升至350-180nm水平?！?/br>
    “但是，再往下其實就很難了?！?/br>
    “據(jù)我了解，新技術(shù)處在一個變革的關(guān)鍵，事實上所謂的asml的euv機器，其實根本是個束之高閣的東西無，無法真正應(yīng)用?！?/br>
    “市場上，還沒有一家企業(yè)購買過！”

    “在公司內(nèi)部，具體細節(jié)不清楚，但很顯然有重大技術(shù)難題他們沒有突破?！?/br>
    “光刻機是個小市場，一年賣幾十臺的就算大廠了?，F(xiàn)在半導(dǎo)體晶圓工廠攏共也沒有多少。一臺機器還能有好些年?！?/br>
    “但是，投資又很巨大。資本回報率很低。在國際上，除非是戰(zhàn)略考量，并且當(dāng)做一張關(guān)鍵外交牌來打，否則單純?yōu)殄X，是沒有企業(yè)愿意做的?！?/br>
    “00年的時候，杰奔尼康在這個領(lǐng)域中，是絕對霸主?！?/br>
    “可是在今年，asml的市場占有率，已經(jīng)達到七成！”

    “asml具體的發(fā)展思路規(guī)劃，咱們并不清楚。不過，這家企業(yè)，八十年代三十幾個人開始在飛利浦那邊做起?！?/br>
    “這么短時間，直接走上霸主地位。背后依靠的，自然就是超前一步的發(fā)展方向?！?/br>
    “97年，英特爾搞了個euvllc合作組織。由優(yōu)絲官方牽頭、集合了摩托摩拉、amd、以及優(yōu)絲著名的幾家實驗室，勞倫斯利弗莫爾實驗室、勞倫斯伯克利實驗室、桑迪亞國家實驗室。”

    “投資數(shù)億元，集合數(shù)百位頂尖科學(xué)家搞理論研究?！?/br>
    “amsl也加入了這個項目中，給優(yōu)絲發(fā)了一大堆誓言，比如親愛的爸爸，你是我永遠的明燈之類的。因為，除了他們，沒有其他國家光刻機企業(yè)加入。”

    眾人聞言，紛紛笑了起來。

    優(yōu)絲的霸道，大家伙心知肚明。你要是不給人家當(dāng)奴隸，而且是那種我累死累活，吃不飽穿不暖勉強活著的奴隸，否則，優(yōu)絲不介意直接讓你成為最后的莫西干人。

    “從97到03年，項目組科學(xué)家發(fā)表了數(shù)百篇論文，驗證了euv光刻機的可行性?！?/br>
    “然后，asml就開始做了。06年，搞出了原型機。07年，建造了一萬平米的超級無塵室?！?/br>
    “接著，就連續(xù)幾年宣傳出現(xiàn)了真正的機器。不過，市場不會騙人。沒有企業(yè)購買，顯然技術(shù)有問題。”

    “但是我想，時間已經(jīng)很緊了。從我的信息渠道來看，三五六年，機器可能會進入晶圓工廠?！?/br>
    曹嘉許皺眉說道：“老大，不會這么夸張吧。”

    “euv算是軟x光，穿透物體時，散射吸收非常厲害。光刻機得需要非常強的光源，并且內(nèi)部還要做成真空的?！?/br>
    “幾納米的精度要求。對光的集中度要求很高。相當(dāng)于拿手電筒照射到月球，光斑不超過一枚硬幣?！?/br>
    “反射要求，反射要求的鏡子要求長30cm起伏不到0.3nm。比我們搞高精度的數(shù)控機床還難無數(shù)倍。應(yīng)該是人類精密制造的最尖端了?！?/br>
    “提供這些技術(shù)的是cymer公司，這家公司近來發(fā)展非常不好。而且現(xiàn)在還是經(jīng)濟危機，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)影響也不少。”

    “時間會比較緊張的吧？”

    曹嘉許在啟天科技公司，是數(shù)二的光學(xué)領(lǐng)域大牛。本身是超級學(xué)霸天才，這些年來參與項目不少。自己也搞了許多手機鏡頭模組的項目組。

    對于業(yè)內(nèi)相關(guān)信息，知道的很清楚。

    辛啟天輕輕搖頭，“是這樣的，不過asml已經(jīng)有收購cymer的打算了。收購不會很快達成，得優(yōu)絲官方爸爸點頭。然而cymer馬上會獲取一大筆研發(fā)資金?！?/br>
    “另外，具體他們的研究進度，其實并非常順利！”

    這些信息的獲取渠道，辛啟天不會講出來。盡管如此，大家卻都沒有任何懷疑。辛老大的能耐，眾人還是佩服的。