透鏡的研發(fā)成功只是第一步。光

    刻機(jī)的制造難度極大，但主要的攔路虎一共有四條。第

    一是制造精度要求極高，一臺(tái)光刻機(jī)數(shù)萬個(gè)零件，要求的制造精度最少也是微米級，絕大多數(shù)精密部件要求精度達(dá)到亞微米級，極少數(shù)超高精密零部件的加工精度需要達(dá)到100納米～200納米。這

    樣高的精度，以國內(nèi)現(xiàn)行的加工技術(shù)，根本做不到。人

    力有時(shí)而窮，八級技工的手工打磨最高精度僅能達(dá)到亞微米級，就算秉持著十年磨一劍的精神，也磨不出精度只有100微米的極高精密零件。不

    過對于鋼鐵城來說，這已經(jīng)不是問題。實(shí)驗(yàn)工廠新研發(fā)的自動(dòng)車床、銑床、磨床等一系列加工設(shè)備，均達(dá)到了最高精度一百多納米的水平，完全達(dá)到了個(gè)別超高精密零部件的加工要求。

    第二個(gè)是高透光度的透鏡。第

    三個(gè)攔路虎，則是光刻機(jī)的行動(dòng)部件。

    最后一個(gè)，就是短波激光光源。芯

    片光刻，是通過工作臺(tái)的移動(dòng)，來改變光刻聚焦，對光刻膠進(jìn)行刻蝕。它的運(yùn)動(dòng)控制部件優(yōu)劣，直接決定了光刻的精度，而移動(dòng)速度，又決定了產(chǎn)率，可以說是光刻機(jī)最核心的子系統(tǒng)。要

    保證最佳的對焦調(diào)整，工作臺(tái)的最小移動(dòng)距離必須非常小，最好是一個(gè)納米一個(gè)納米移動(dòng)。實(shí)

    際制作中當(dāng)然達(dá)不到這樣的精度。

    以飛利浦最新款的光刻機(jī)為例，它的最小移動(dòng)距離實(shí)際只有300納米。加上光源波長，它的光刻效果，最小線寬達(dá)到了三百五十納米。其

    他廠商差不多也是同一水平，有區(qū)別也差距不大。

    這就是當(dāng)前國際最先進(jìn)的光刻機(jī)制程能力。

    所謂一代設(shè)備，一代產(chǎn)品。

    最新的奔騰2266處理器，采用的就是350納米線寬的制程工藝。

    白云天進(jìn)入到實(shí)驗(yàn)室，對李蓮道：“你們這邊進(jìn)度怎么樣？”

    “非常順利！”李蓮給了他一個(gè)笑臉。她

    帶領(lǐng)的小組，負(fù)責(zé)制造光刻機(jī)最關(guān)鍵的工作臺(tái)子系統(tǒng)，其中最重要的就是運(yùn)動(dòng)部件。

    為了保證運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性，移動(dòng)部分不是普通導(dǎo)軌，而是空氣懸浮導(dǎo)軌。

    從制造難度來說，它不算太大。

    無非是一兩百納米的加工精度，對才鳥槍換炮的鋼鐵城來說一點(diǎn)難度也沒有。

    之所以它會(huì)成為光刻機(jī)研制的攔路虎，還是因?yàn)閷?dǎo)軌設(shè)計(jì)需要運(yùn)用到非常高深的流體力學(xué)知識(shí)，才能驗(yàn)算出怎樣設(shè)計(jì)才會(huì)將氣流對工作臺(tái)穩(wěn)定性的影響降到最低，從而設(shè)計(jì)出滿足工業(yè)需要的產(chǎn)品。偏

    偏這一點(diǎn)，對白云天最不構(gòu)成阻礙。

    誰讓他有《制造史回顧》！從

    科研的角度來說，這時(shí)代的其他人就好像盲人在曠野中摸索。

    他們要很小心才不會(huì)路上的溝坎、障礙物絆倒，然后還要努力分辨前方究竟是懸崖，還是崎嶇難行的山路，亦或是高不可攀的山峰。只

    有通過空氣流動(dòng)、潺潺水聲，他們才能花費(fèi)巨大代價(jià)，找到一條前進(jìn)的道路。但

    即便如此，也許跟著水流、空氣前行，還是會(huì)走入死胡同，不得不又退回到起點(diǎn)，重新尋找別的途徑。在這個(gè)過程中，他們也盡可能與其他探路者相互交流信息，告訴別人某條路可能走得通，某條路是死路，讓他們不要再去嘗試。

    人類文明每前進(jìn)一步，都艱辛無比。但

    白云天不同。

    他就如同開了全圖的玩家，一落地，就對四面八方的道路有著完整的認(rèn)知，絕對不會(huì)走錯(cuò)。決

    定他前進(jìn)速度的，從來不是尋路的過程，而是有著怎樣的交通工具。

    他可以一直走在正確的道路上，偶爾步入一個(gè)岔路，在地上撿到一點(diǎn)不知道誰丟的錢。隨后，他就可以用這錢去買一輛自行車，在接下來的路上騎得更快、更輕松，還有空看看美麗的風(fēng)景。

    光刻機(jī)的制造就是這樣。其

    他光刻機(jī)巨頭，需要投入重金，請最優(yōu)秀的研發(fā)人員，用最好的研發(fā)設(shè)備，潛心研究數(shù)年，中途還要用利益跟其他人交換技術(shù)，才能艱難地前行一步。

    然而白云天不需要。他

    在一開始，就清楚地知道自己在做什么樣的東西，如何去做。

    只要自己的技術(shù)夠了，不需要試多少次，就能將東西做出來。這

    對這時(shí)代的其他科研人員是不公平的。但

    這世界，從來沒有公平！

    落后就要挨打，這是永世不變的至理箴言！

    白云天從來不需要顧慮他人的感受，他只是根據(jù)自己的目標(biāo)，堅(jiān)定地走在自己的路上。

    透鏡、工作臺(tái)很容易就做了出來。

    并且他還根據(jù)后世設(shè)計(jì)，對工作臺(tái)做了巨大改動(dòng)，將慣常的一個(gè)工作臺(tái)，改為了雙工作臺(tái)。當(dāng)

    一個(gè)工作臺(tái)正在進(jìn)行光刻工序時(shí)，另一個(gè)工作臺(tái)則提前進(jìn)行晶圓片更換、定位、微調(diào)、測量等前序工作。當(dāng)那一個(gè)工作臺(tái)完成光刻，兩個(gè)工作臺(tái)換位，立即就能進(jìn)行下一道光刻工序，極大地提升了光刻效率。

    光源部分，是唯一沒有自造的。畢

    竟汞燈只是光刻機(jī)光源，波長統(tǒng)一為365納米，其制造難度并不是特別大。國際市場上的供應(yīng)商很多，全面禁止對華出口的難度較大，很容易買到。白

    云天為了省事，也就沒自造，而是通過國內(nèi)，直接購買了一套。

    但是他還是做了小幅改進(jìn)。就

    是用將目鏡浸入純凈液體中的方式，對光束波長進(jìn)行一定幅度的折射，從而達(dá)到聚焦效果。

    在后世，這叫浸入式光源。

    現(xiàn)在各大光科技廠商正在就此技術(shù)，進(jìn)行實(shí)驗(yàn)室研究階段，尚未投入實(shí)用。既

    然白云天手里有完整的技術(shù)，浸入式光源又能小幅改進(jìn)光源聚焦，那又為何不用？實(shí)

    際使用效果很好。

    采用了浸入式光源技術(shù)以后，364納米的光束波長被約束到了312納米！

    比之英特爾使用的350納米技術(shù)，提升了近40納米！

    在白云天的親自指導(dǎo)監(jiān)督下，有李蓮、華新等人直接領(lǐng)導(dǎo)，光刻機(jī)的制造進(jìn)度快得驚人，透鏡、工作臺(tái)子系統(tǒng)、光源等最大的技術(shù)難點(diǎn)，一一被輕松攻克。經(jīng)

    過兩個(gè)月的技術(shù)攻關(guān)——其實(shí)就是逐步熟悉制造工藝，一臺(tái)雙工位，最大晶元刻蝕尺寸為200的光刻機(jī)就順利建造完成，順利得讓所有參與制造的技術(shù)人員感覺如在做夢。

    “這就做好了？”當(dāng)

    最后一塊擋板合上，螺絲擰緊，對光刻機(jī)通電系統(tǒng)測試通過，白云天宣布光刻機(jī)研發(fā)成功，其他人還是不敢相信這個(gè)事實(shí)，不由竊竊私語。連

    下料到解決一個(gè)個(gè)技術(shù)問題，制作出子系統(tǒng)，再到總裝，兩個(gè)月就做出一臺(tái)這時(shí)代最先進(jìn)的光刻機(jī)……

    這可能嗎？就

    算國內(nèi)光刻機(jī)廠家，有現(xiàn)成圖紙、熟練工，做一臺(tái)出來也不止這點(diǎn)時(shí)間吧?！?/br>
    行不行咱們試試不就知道了。”白云天看著眾人表情，笑了笑沒有解釋。有

    他帶著一種接受了高端制造技術(shù)知識(shí)注入的新人親自參與，兩個(gè)月制造一臺(tái)光刻機(jī)算什么。要

    不是沒有專用機(jī)床設(shè)備，哪要得了兩個(gè)月！像

    專門制造光刻機(jī)的asl，一年就要賣幾十上百臺(tái)光刻機(jī)出去。

    兩月一臺(tái)？這

    么慢的生產(chǎn)速度，早就破產(chǎn)倒閉了！

    光刻掩膜板早就做好了，這是白云天、李蓮親自動(dòng)手做的，達(dá)到了鋼鐵城當(dāng)前技術(shù)極限。掩

    膜并非只有一個(gè)，而是一套。光

    刻是個(gè)工序多達(dá)上百道的漫長加工過程，一道工序，可能就只有極微小的改變。逐步刻蝕掉需要加工部位的光刻膠，然后通過沉積、離子注入等方式，在硅晶元基片上生成所需的元器件、連線等不同部件。

    因此整個(gè)過程是支離破碎的，每一次光刻都只針對一道工序，經(jīng)由數(shù)百道工序之后，才會(huì)制造出一個(gè)包含了所有晶體管、電阻、電容等各種元器件的裸晶片。由

    于工序漫長，每一道工序的掩膜必須嚴(yán)格對準(zhǔn)，誤差不能超過幾個(gè)納米。否則就會(huì)出現(xiàn)錯(cuò)位，導(dǎo)致沉積、注入不到正確的位置，制造失敗?？?/br>
    想而知，掩膜版的精度要求是多么高。從

    制成的掩膜版上，眾人只能看到星星點(diǎn)點(diǎn)的點(diǎn)、和縱橫交錯(cuò)的細(xì)線，根本不知道最終出來的電路是怎樣的。

    工序如此之長，當(dāng)然不可能馬上就得出結(jié)果。研

    究人員雖然很好奇，但是他們還有別的研究工作要做，當(dāng)白云天宣布光刻機(jī)研發(fā)成功，研制團(tuán)隊(duì)解散以后，他們也只能回到本來的崗位，繼續(xù)完成上面交代下來的研究工作。

    一個(gè)月后，白云天、李蓮等人穿著一身連套防護(hù)服，眼看著一張亮晶晶的晶圓片完成最后一道工序，小心翼翼擺放到了他們面前。

    這還只是裸晶片，還需要經(jīng)過切割、封裝，才是大眾平常所見到的芯片。

    得知眾所期待的第一次試制完成，聞?dòng)嵉难芯咳藛T們都放下手頭工作，聚了過來。等級較高的研究人員穿上連套防護(hù)服，進(jìn)了實(shí)驗(yàn)室，其他的人則站在玻璃墻外，好奇地看著白云天小心托在手中的晶圓片?！?/br>
    白總，這是什么集成電路？”一名實(shí)驗(yàn)室副主任好奇地問道。“

    一款處理器！”白云天沒有繼續(xù)保密，笑呵呵地解開了謎底?！?/br>
    處理器！”所

    有聽到的人都眼睛一亮，在這些性格沉穩(wěn)的研究員中，竟然發(fā)生了小小的sao動(dòng)。

    “難道這就是我們要研發(fā)的計(jì)算機(jī)，所用的處理器？”那幾位有資格進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室的主任、副主任都激動(dòng)起來，忍不住七嘴八舌問道。處

    理器??！國

    內(nèi)搞了幾十年集成電路，從最開始就緊跟國外步伐，早在七十年代，就仿制了英特爾的8080，還以此為核心，研發(fā)了國產(chǎn)的長城0520微機(jī)。

    可不管是8080也好，還是長城0520也好，都是仿制的人家設(shè)計(jì)。

    可以說，在處理器一塊，國內(nèi)就沒有任何拿得出手的成績。所

    有有識(shí)之士都在焦慮，都在呼吁要研發(fā)我們自己的中國芯?？墒呛奥曉俅?，國內(nèi)依然沒有設(shè)計(jì)出一款自己的處理器，更遑論制造了。

    迄今為止，國產(chǎn)處理器依然是一片空白！

    現(xiàn)在咋一聽到白云天用鋼鐵城自制的光刻機(jī)，制造出來的第一批集成電路樣品，就是處理器，所有人都激動(dòng)到無以自制。這

    肯定不是自己設(shè)計(jì)的處理器，但能做出來，這就是極大的成功！

    “白總，這是什么處理器？是奔騰，還是486？”旁邊那位副主任，說話的聲音都在顫抖。“

    都不是！”白云天心情極好，逗趣地聳聳肩笑道。所

    有人都露出失望的表情。

    他們根本不敢奢望自制的光刻機(jī)，能制造出最新款的奔騰2，能夠做出早期的奔騰處理器就已經(jīng)足以讓他們興奮不已。

    若是不行，486也將就?？?/br>
    是連486都做不出來，那這光刻機(jī)制造出來又有什么用。

    “也好，飯總要一口一口地吃，沒關(guān)系，我們現(xiàn)在能做386也不錯(cuò)。現(xiàn)在我們有經(jīng)驗(yàn)了，以后我們慢慢改進(jìn)，總能將光刻機(jī)的制造精度提上去，奔騰會(huì)有的，未來奔騰2也不是夢想……”一位副主任勉強(qiáng)笑著，安慰道。

    白云天裝不下去了，歡暢地笑道：“我親自主持的項(xiàng)目，怎么可能造一臺(tái)只能制造386的光刻機(jī)！告訴你們，我們自制的光刻機(jī)，最小線寬達(dá)到了0.31微米！用它造出來的這枚晶片，集成度是600萬，比英特爾最新款的奔騰pr還要高五十五萬晶體管！”

    “哇！”

    “不可能吧！”

    “我們自制的光刻機(jī)，線寬竟然比英特爾的還要細(xì)，這怎么可能？”

    他的話經(jīng)由通話器，傳到實(shí)驗(yàn)室外，所有聽到的人都是一副震驚的表情，認(rèn)為他一定是說錯(cuò)了。習(xí)

    慣了跟在人家背后亦步亦趨，他們已經(jīng)有了小小的自卑和不自信，完全不敢相信，中國人也能做出達(dá)到、甚至超過歐美的集成電路。

    “等等，白總，您剛才說這枚處理器的集成度是600萬，那它肯定不是奔騰pr，那它是什么芯片？”有人發(fā)現(xiàn)了白云天話中的漏洞，立即叫了出來。其

    他人一聽，也是迅速反應(yīng)過來。白

    云天之前就說了，這是一枚處理器芯片，然后又說它的集成度為600萬，比奔騰pr還超出一籌。

    可是奔騰pr就是最新款、最先進(jìn)的處理器了，哪還有什么集成度達(dá)到600萬之巨的處理器！他

    一定是在開玩笑。

    所有人臉上一松，可是心中，不知道怎么，又有些隱隱的遺憾。

    如果是真的，那該多好啊……白

    云天微笑著，目光透過護(hù)目罩，從眾人臉上一個(gè)個(gè)看過去，直到環(huán)視一圈，才放低音量，輕聲道“它當(dāng)然不是奔騰pr，它是我們自行設(shè)計(jì)的華芯一號……”

    沒等他說完，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)外已經(jīng)一片沸騰，所有人都漲紅了臉，拼命想要說什么。各

    種聲音混雜，誰也聽不清對方在說什么。

    可是沒人停嘴，他們用盡力氣，拼命撕扯著其他同僚的衣服、手臂，想要向白云天說什么。在

    白云天身邊，一種主任、副主任身體晃動(dòng)，看樣子想要支撐不住的樣子，可他們還是努力相互攙扶，顫聲向他詢問：“白總，真是我們自己設(shè)計(jì)的處理器？”

    “是！”白云天笑容一斂，嚴(yán)肅地回答道。

    “這是真的？”“

    是真的！”

    “您沒騙我們，它真的是我們自己設(shè)計(jì)研發(fā)的第一款國產(chǎn)處理器？”

    “我沒騙你們！”

    白云天表情從未有過的嚴(yán)肅，一點(diǎn)笑容都沒有。

    在他身前，幾個(gè)曾在國內(nèi)研究所待了大半輩子的老研究員，忽然失聲痛哭起來。“

    終于，我終于看到了！”

    “這輩子，沒白活！”“

    夠了，夠了，現(xiàn)在就是讓我去死，也沒有遺憾了……”望

    著一種痛哭流涕的老研究員，玻璃墻外面吵雜的研究員們漸漸安靜下來。在

    他們的臉上，同樣是眼淚縱橫。