第42章 技術(shù)阻礙
目前中國的芯片產(chǎn)業(yè)就是阻礙在制造設(shè)備這個地方,無法制造世界一流的芯片。 很多同樣的芯片,國內(nèi)的僅僅可以拆裝一兩次就壞掉,而國外的芯片可以連續(xù)拆裝四五次,久而久之國產(chǎn)芯片成了劣質(zhì)的代名詞。 所以國外的芯片更加受歡迎,而國內(nèi)的國產(chǎn)芯片難有競爭力,目前全國絕大部分芯片都靠進口。 每年全球半導(dǎo)體市場規(guī)模達3200億美元,全球54%的芯片都出口到中國,但國產(chǎn)芯片的市場份額只占10%,而且大都是一些低端芯片。 中國芯片產(chǎn)業(yè)長期被國外廠商控制,不僅每年進口需要消耗2000多億美元外匯,超過了石油和大宗商品,是第一大進口商品。 由于發(fā)達國家的技術(shù)封鎖,很多高科技設(shè)備無法進口,受制于人的技術(shù)設(shè)備直接制約了我國信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,而我國每年不得不花費兩千億美元的資金進口。 可不要小看了兩千億,這可是實打?qū)嵉馁Y金,而全國m2總額也才30萬億美元,光進口芯片就占據(jù)了整個國家1/150的財富。 所謂m2,就是全國所有的現(xiàn)金流的總和,全國人民沒有絲毫泡沫的真正的財富,財富并不是無窮無盡的。 整個半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)擁有上萬億美元巨大的市場,芯片是未來眾多高技術(shù)產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),芯片設(shè)計制造技術(shù)成為世界主要大國競爭的最重要領(lǐng)域之一。 而芯片生產(chǎn)設(shè)備又為芯片大規(guī)模制造提供制造基礎(chǔ),因此更是整個半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)金字塔頂端的尖尖。 那么這些設(shè)備到底是什么什么設(shè)備呢? 1、光刻機 功能:在半導(dǎo)體基材上(硅片)表面勻膠,將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上,把器件或電路結(jié)構(gòu)臨時“復(fù)制”到硅片上。 主要企業(yè)(品牌): 國際:荷蘭阿斯麥(asml)公司、美國泛林半導(dǎo)體公司、日本尼康公司、日本公司、美國abm公司、德國德國suss公司、美國mycro公司。 國內(nèi):中國電子科技集團第四十八所、中國電子科技集團第四十五所、上海機械廠、成都南光實業(yè)股份有限公司。 2、icp等離子體刻蝕系統(tǒng) 設(shè)備功能:一種或多種氣體原子或分子混合于反應(yīng)腔室中,在外部能量作用下(如射頻、微波等)形成等離子體,一方面等離子體中的活性基團與待刻蝕表面材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成可揮發(fā)產(chǎn)物;另一方面等離子體中的離子在偏壓的作用下被引導(dǎo)和加速,實現(xiàn)對待刻蝕表面進行定向的腐蝕和加速腐蝕。 主要企業(yè)(品牌): 國際:英國牛津儀器公司、美國torr公司、美國gatan公司、英國quorum公司、美國利曼公司、美國pelco公司。 國內(nèi):北京儀器廠、北京七星華創(chuàng)電子有限公司、中國電子科技集團第四十八所、戈德爾等離子科技(香港)控股有限公司、中國科學(xué)院微電子研究所、北方微電子、北京東方中科集成科技股份有限公司、北京創(chuàng)世威納科技。 3、反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng) 設(shè)備功能:平板電極間施加高頻電壓,產(chǎn)生數(shù)百微米厚的離子層,放入式樣,離子高速撞擊式樣,實現(xiàn)化學(xué)反應(yīng)刻蝕和物理撞擊,實現(xiàn)半導(dǎo)體的加工成型。 主要企業(yè)(品牌): 國際:日本evatech公司、美國nanomaster公司、新加坡rec公司、韓國jusung公司、韓國tes公司。 國內(nèi):北京儀器廠、北京七星華創(chuàng)電子有限公司、成都南光實業(yè)股份有限公司、中國電子科技集團第四十八所。 4、離子注入機 設(shè)備功能:對半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進行摻雜。 主要企業(yè)(品牌): 國際:美國維利安半導(dǎo)體設(shè)備公司、美國cha公司、美國amat公司、varian半導(dǎo)體制造設(shè)備公司(被amat收購)。 國內(nèi):北京儀器廠、中國電子科技集團第四十八所、成都南光實業(yè)股份有限公司、沈陽方基輕工機械有限公司、上海硅拓微電子有限公司。 5、單晶爐 設(shè)備功能:熔融半導(dǎo)體材料,拉單晶,為后續(xù)半導(dǎo)體器件制造,提供單晶體的半導(dǎo)體晶坯。 主要企業(yè)(品牌): 國際:德國pva tepla ag公司、日本ferrotec公司、美國quantum design公司、德國gero公司、美國kayex公司。 國內(nèi):北京京運通、七星華創(chuàng)、北京京儀世紀、河北晶龍陽光、西安理工晶科、常州華盛天龍、上海漢虹、西安華德、中國電子科技集團第四十八所、上海申和熱磁、上虞晶盛、晉江耐特克、寧夏晶陽、常州江南、合肥科晶材料技術(shù)有限公司、沈陽科儀公司。 6、晶圓劃片機 該芯片生產(chǎn)設(shè)備功能:把晶圓切割成小片。 主要企業(yè)(品牌): 國際:日本disco公司、德國oeg公司。 國內(nèi):中國電子科技集團第四十五所、北京科創(chuàng)源光電技術(shù)有限公司、沈陽儀器儀表工藝研究所、西北機器有限公司(原國營西北機械廠709廠)、匯盛電子電子機械設(shè)備公司、蘭州蘭新高科技產(chǎn)業(yè)股份有限公司、大族激光、深圳市紅寶石激光設(shè)備有限公司、武漢三工、珠海萊聯(lián)光電、珠?;浢萍肌?/br> 7、晶片減薄機 設(shè)備功能:通過拋磨,把晶片厚度減薄。 主要企業(yè)(品牌): 國際:德國gn公司、日本disco公司、日本okamoto公司、以色列camtek公司。 國內(nèi):蘭州蘭新高科技產(chǎn)業(yè)股份有限公司、深圳方達研磨設(shè)備制造有限公司、深圳市金實力精密研磨機器制造有限公司、煒安達研磨設(shè)備有限公司、深圳市華年風(fēng)科技有限公司。 8、氣相外延爐 氣相外延爐設(shè)備功能:為氣相外延生長提供特定的工藝環(huán)境,實現(xiàn)在單晶上,生長與單晶晶相具有對應(yīng)關(guān)系的薄層晶體,為單晶沉底實現(xiàn)功能化做基礎(chǔ)準備。氣相外延即化學(xué)氣相沉積的一種特殊工藝,其生長薄層的晶體結(jié)構(gòu)是單晶襯底的延續(xù),而且與襯底的晶向保持對應(yīng)的關(guān)系。 主要企業(yè)(品牌): 國際:美國cvd equipment公司、美國gt公司、法國soitec公司、法國as公司、美國proto flex公司、美國科特·萊思科(kurt j.lesker)公司、美國applied materials公司。 國內(nèi):中國電子科技集團第四十八所、青島賽瑞達、合肥科晶材料技術(shù)有限公司、北京金盛微納、濟南力冠電子科技有限公司。 9、分子束外延系統(tǒng) 此芯片生產(chǎn)設(shè)備功能:分子束外延系統(tǒng),提供在沉底表面按特定生長薄膜的工藝設(shè)備;分子束外延工藝,是一種制備單晶薄膜的技術(shù),它是在適當?shù)囊r底與合適的條件下,沿襯底材料晶軸方向逐層生長薄膜。 主要企業(yè)(品牌): 國際:美國veeco公司、美國svtassociates公司、美國nbm公司、法國riber公司、芬蘭dstruments公司、德國omi公司、德國mbe-kompoen公司、英國oxford applied research(oar)公司。 國內(nèi):沈陽中科儀器、北京匯德信科技有限公司、紹興匡泰儀器設(shè)備有限公司、沈陽科友真空技術(shù)有限公司。 10、氧化爐(vdf) 設(shè)備功能:提供要求的氧化氛圍,實現(xiàn)半導(dǎo)體預(yù)期設(shè)計的氧化處理過程,為半導(dǎo)體材料進行氧化處理,是半導(dǎo)體加工過程的不可缺少的一個環(huán)節(jié)。 主要企業(yè)(品牌): 國際:英國thermco公司、德國trotherm thermal solutions gmbh co.kg公司。 國內(nèi):青島福潤德、北京七星華創(chuàng)、中國電子科技集團第四十八所、青島旭光儀表設(shè)備有限公司、中國電子科技集團第四十五所。 11、低壓化學(xué)氣相淀積系統(tǒng) 設(shè)備功能:把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入lpcvd設(shè)備的反應(yīng)室,在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成薄膜。 主要企業(yè)(品牌): 國際:日本日立國際電氣公司、 國內(nèi):中國電子科技集團第四十八所、上海馳艦半導(dǎo)體科技有限公司、中國電子科技集團第四十五所、北京儀器廠、上海機械廠。 12、等離子體增強化學(xué)氣相淀積系統(tǒng) 設(shè)備功能:在沉積室利用輝光放電,使其電離后在襯底上進行化學(xué)反應(yīng),沉積半導(dǎo)體薄膜材料。 主要企業(yè)(品牌): 國際:日本tokki公司、日本島津公司、美國proto flex公司、美國泛林半導(dǎo)體(lam research)公司、荷蘭asm國際公司。 國內(nèi):北京儀器廠、中國電子科技集團第四十五所、上海機械廠。 13、磁控濺射臺 芯片生產(chǎn)設(shè)備功能:通過二極濺射中一個平行于靶表面的封閉磁場,和靶表面上形成的正交電磁場,把二次電子束縛在靶表面特定區(qū)域,實現(xiàn)高離子密度和高能量的電離,把靶原子或分子高速率濺射沉積在基片上形成薄膜。 主要企業(yè)(品牌): 國際:美國vaportech公司、美國amat公司、美國pvd公司、荷蘭hauzer公司、英國teer公司、瑞士platit公司、瑞士balzers公司、德國ceme公司。 國內(nèi):中國電子科技集團第四十八所、北京儀器廠、沈陽中科儀器、成都南光實業(yè)股份有限公司、科睿設(shè)備有限公司、上海機械廠。 14、化學(xué)機械拋光機 設(shè)備功能:通過機械研磨和化學(xué)液體溶解“腐蝕”的綜合作用,對被研磨體(半導(dǎo)體)進行研磨拋光。 主要企業(yè)(品牌): 國際:美國applied materials公司、美國諾發(fā)系統(tǒng)公司、美國rtec公司。 國內(nèi):蘭州蘭新高科技產(chǎn)業(yè)股份有限公司、愛立特微電子。 15、引線鍵合機 設(shè)備功能:把半導(dǎo)體芯片上的pad與管腳上的pad,用導(dǎo)電金屬線(金絲)鏈接起來。 主要企業(yè)(品牌): 國際:德國tpt公司、美國奧泰公司、奧地利奧地利fk公司、馬來西亞友尼森(unisem)公司。 國內(nèi):中國電子科技集團第四十五所、北京創(chuàng)世杰科技發(fā)展有限公司、宇芯(成都)集成電路封裝測試有限公司(馬來西亞友尼森投資)、深圳市開玖自動化設(shè)備有限公司。 16、探針測試臺 芯片生產(chǎn)設(shè)備功能:通過探針與半導(dǎo)體器件的pad接觸,進行電學(xué)測試,檢測半導(dǎo)體的性能指標是否符合設(shè)計性能要求。 主要企業(yè)(品牌): 國際:美國qa公司、美國microxact公司、德國ingun公司、韓國ecopia公司、韓國leeno公司。 國內(nèi):中國電子科技集團第四十五所、北京七星華創(chuàng)電子有限公司、瑞柯儀器、華榮集團、深圳市森美協(xié)爾科技。