“了不起啊，小陸，你們了不起啊?！?/br>
    沙領(lǐng)導(dǎo)滿意道：“我記得是7年前還是8年前，也是在這里，你讓我看的是65nm干式光刻機(jī)，還向我保證絕對(duì)能搞出屬于我們自己的國產(chǎn)的浸潤式光刻機(jī)，我本來以為要花10年甚至更長的時(shí)間，沒想到你給了我們一個(gè)大大的驚喜啊！這么快讓你們搞出來了！”

    “哪里，哪里，領(lǐng)導(dǎo)?！?/br>
    陸飛露出謙虛而內(nèi)斂的笑容。

    “說說吧，到底是怎么搞出來的？”

    沙領(lǐng)導(dǎo)眼里滿是贊賞之色。

    “其實(shí)這并不是邏輯和中微兩家的功勞，我們只負(fù)責(zé)整體的統(tǒng)籌調(diào)度和集成研發(fā)。”

    陸飛笑道：“duv浸潤式光刻機(jī)能成功，完完全全歸功于參與到整個(gè)項(xiàng)目的全體員工、科研人員們，是他們的血汗和信念，才有了今天的光刻機(jī)，當(dāng)然也離不開領(lǐng)導(dǎo)們的支持，地方上的政策，還有相關(guān)公司、院校、國企單位的合作?！?/br>
    頓了頓，“可以說，這臺(tái)duv浸潤式光刻機(jī)凝結(jié)了華夏半導(dǎo)體從業(yè)人員的智慧和野心，也代表著目前國內(nèi)光刻機(jī)的最高水平，距離國際一線的euv光刻機(jī)，只有一代的代差了?！?/br>
    “生產(chǎn)7nm的良品率是多少？”

    鄭韓臉上掛著得意的笑容。

    畢竟，如此國之重器出自張江技術(shù)園區(qū)，滬市毫無疑問當(dāng)?shù)蒙稀叭A夏半導(dǎo)體之都”。

    “不同的芯片不同的良率，但基本能穩(wěn)定在70％，慢慢調(diào)試改進(jìn)，可以達(dá)到80％?！?/br>
    陸飛比比畫畫道：“完全可以比肩amsl，只用4個(gè)光罩、4次曝光，就可以達(dá)到7nm制程工藝?！?/br>
    沙領(lǐng)導(dǎo)問道：“現(xiàn)在邏輯和華為的手機(jī)用的都是7nm制程工藝的芯片對(duì)嗎？”

    陸飛點(diǎn)了下頭，“沒錯(cuò)，7nm是目前市面上最先進(jìn)的制程工藝，不過根據(jù)摩爾定律，再過個(gè)一兩年，就可能突破到5nm?！?/br>
    “5nm是不是就需要euv光刻機(jī)了？”

    鄭韓好奇道。

    “有euv光刻機(jī)固然是好，只要一次曝光，一個(gè)光罩就能實(shí)現(xiàn)7nm、5nm，但沒有euv光刻機(jī)也無妨，有這臺(tái)duv浸潤式光刻機(jī)也可以做到?！?/br>
    陸飛露出個(gè)看似輕松的笑容。

    “喔？”

    頃刻間，一眾領(lǐng)導(dǎo)的目光齊聚于他。

    “梁博士想到的方案，如果把光刻機(jī)極限使用，經(jīng)過6個(gè)光罩，9次曝光，也可以實(shí)現(xiàn)5nm工藝?！标戯w直截了當(dāng)?shù)鼗卮稹?/br>
    一個(gè)戴著玳瑁眼鏡的領(lǐng)導(dǎo)擔(dān)憂道：“光刻機(jī)這么極限使用，會(huì)不會(huì)影響到使用壽命？”

    “還有良率。”

    “是啊，經(jīng)過這么多道曝光，任何一道工序失敗，都可能滿盤皆輸，成本就上來了……”

    領(lǐng)導(dǎo)們來回分析，議論紛紛。

    陸飛只能一一回答，“損害壽命肯定會(huì)損害，良率低也肯定會(huì)低一些，成本自然也就會(huì)高一點(diǎn)，但這是沒有辦法的辦法，目前euv光刻機(jī)國產(chǎn)化要實(shí)現(xiàn)徹底突破，還有不少技術(shù)難題擺在面前，需要時(shí)間去攻破。”

    “比如呢？”

    沙領(lǐng)導(dǎo)投去問詢的目光。

    “光刻機(jī)的技術(shù)難點(diǎn)主要集中在光源、反射鏡、工作臺(tái)，現(xiàn)在雙工作臺(tái)已經(jīng)解決了，光源問題也突破了，就剩下物鏡系統(tǒng)?！?/br>
    陸飛直說道：“amsl、尼康的光刻機(jī)用的是蔡司的技術(shù)，但蔡司愿意賣給amsl、尼康，但絕對(duì)不會(huì)出口給我們?！?/br>
    然后嘆了口氣，“沒辦法，我們只能從零開始，聯(lián)合長春光機(jī)、徠卡、華為等聯(lián)合研發(fā)，現(xiàn)在搞定了duv浸潤式的物鏡系統(tǒng)，至于euv的，恐怕需要很長一段時(shí)間?！?/br>
    “那這期間，復(fù)芯、中芯的晶圓代工，有沒有可能會(huì)被臺(tái)積電、英特爾的差距拉大？”

    鄭韓皺了皺眉。

    “肯定會(huì)，但好在情況并不糟糕?！?/br>
    陸飛笑道：“雖然5nm是目前我們的極限，理論上而言，臺(tái)積電、英特爾、三星這些有euv光刻機(jī)的，制程工藝甚至可以沖擊到1nm，但得到的回報(bào)并不會(huì)太高。”

    不少領(lǐng)導(dǎo)感到奇怪，“為什么這么說？制程工藝難道不是越先進(jìn)越好嘛？”

    “理論上是這樣，但事實(shí)是現(xiàn)在全球智能機(jī)領(lǐng)域已經(jīng)有‘性能過?！内厔?shì)，搭載5nm芯片的手機(jī)體驗(yàn)，未必就不如3nm，就會(huì)讓3nm及以下工藝陷入一種尷尬的地步，飆升的成本卻只得到微弱的性能提升?！?/br>
    陸飛嘿然一笑，“反倒是28nm、14nm和7nm這三個(gè)節(jié)點(diǎn)的工藝才是市場主流，特別是我們國內(nèi)絕大部份的芯片需求，所以有了國產(chǎn)的duv浸潤式光刻機(jī)，基本可以保證我們不會(huì)也不怕被卡脖子，也能保證支撐到我們研發(fā)出euv光刻機(jī)的那一天?！?/br>
    眾人兩兩相望，相視一笑。

    確實(shí)，28nm是集成電路產(chǎn)能中劃分中低端跟中高端的分界線。

    除了對(duì)功耗要求比較高的cpu、gpu、ai芯片外，其余的工業(yè)級(jí)芯片用的都是28nm以上的技術(shù)，比如電視、空調(diào)、汽車、高鐵、火箭、衛(wèi)星、工業(yè)機(jī)器人、電梯、醫(yī)療設(shè)備、智能手環(huán)、無人機(jī)……

    但現(xiàn)在，7nm，甚至不計(jì)任何代價(jià)，極限可以推到5nm，簡直是綽綽有余。

    “你們?cè)谫Y金上、政策上、人才上，或者在其他方面，有沒有什么需要我們解決的？”

    沙領(lǐng)導(dǎo)慈眉善目。

    陸飛也不客氣，立馬張口。

    一個(gè)敢提，一個(gè)敢接。

    “我還有個(gè)提議，希望領(lǐng)導(dǎo)們能支持?！?/br>
    “說?！?/br>
    “是這樣，邏輯這些年一直跟水木大學(xué)開展了比較另類的秘密項(xiàng)目，那就是研究直接跳過光刻機(jī)，建立光刻廠和光刻車間?！?/br>
    “光刻廠和光刻車間？！”

    沙領(lǐng)導(dǎo)、鄭韓等人或多或少感到驚訝。

    “對(duì)，安裝和調(diào)試一臺(tái)duv光刻機(jī)需要至少一年的時(shí)間?！标戯w一本正經(jīng)說，“而如果直接造光刻廠，把光刻機(jī)的整個(gè)供應(yīng)鏈連接起來，就可以擺脫以往單臺(tái)光刻機(jī)的生產(chǎn)模式，轉(zhuǎn)為流水線生產(chǎn)，根據(jù)不同的精度需求，大規(guī)模生產(chǎn)各類精度的光刻機(jī)，就能把光刻機(jī)，甚至芯片價(jià)格打下去，你們覺得怎么樣？”

    “嘶～”

    現(xiàn)場技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)立刻竊竊私語起來。

    “多條路，就多種選擇，大膽去試，放手去干，我們永遠(yuǎn)是你們的堅(jiān)實(shí)后盾。”

    沙領(lǐng)導(dǎo)拍了下陸飛的肩膀。

    “是，領(lǐng)導(dǎo)！”

    陸飛語氣里夾著一絲興奮。

    “《科技日?qǐng)?bào)》最近總結(jié)了35項(xiàng)制約我們制造工業(yè)的卡脖子技術(shù)，不知道你有沒有看到？”沙領(lǐng)導(dǎo)往工廠外走去。

    “看了。”陸飛立刻跟上。

    “有什么感想？”沙領(lǐng)導(dǎo)追問。

    “看上去是35項(xiàng)，但實(shí)際情況并不對(duì)，有很多項(xiàng)目已經(jīng)被邏輯攻克了，比如航空設(shè)計(jì)軟件、eda設(shè)計(jì)軟件、觸覺傳感器……”

    陸飛如實(shí)說：“有的正在被攻克，像激光雷達(dá)，我們就在為未來的智能駕駛系統(tǒng)量身定制商用級(jí)的激光雷達(dá)?！?/br>
    “我知道你和邏輯這些年明里暗里已經(jīng)做了很多，但這些都不是關(guān)鍵?！鄙愁I(lǐng)導(dǎo)語氣認(rèn)真道，“芯片才是重中之重，畢竟電動(dòng)汽車、人工智能這些個(gè)領(lǐng)域，都離不開芯片?！?/br>
    “如果真地卡脖子，也許暫時(shí)會(huì)是華夏半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的黑暗，但長遠(yuǎn)老看，何嘗不是我們國產(chǎn)半導(dǎo)體崛起的機(jī)會(huì)？”

    陸飛不以為然。

    想徹底圍堵華夏芯片的發(fā)展，但是卻給了國產(chǎn)一個(gè)機(jī)會(huì)，當(dāng)“國產(chǎn)替代”形成了風(fēng)潮，華夏半導(dǎo)體就會(huì)爆發(fā)巨大的潛能。

    邏輯多年的布局，就能迎來真正的風(fēng)口！

    從光源系統(tǒng)到物鏡系統(tǒng)，從浸沒系統(tǒng)到雙工作臺(tái)研發(fā)，從光刻膠到光掩模版，從光刻機(jī)缺陷檢測設(shè)備到涂膠顯影設(shè)備，不管是核心組件，還是配套設(shè)施，國產(chǎn)的都將慢慢起飛。

    “說得好。”

    沙領(lǐng)導(dǎo)笑道：“對(duì)了，你剛剛說安裝調(diào)試光刻機(jī)需要一年，那么再加上制造，豈不是一臺(tái)光刻機(jī)到真正投產(chǎn)，時(shí)間會(huì)超過一年？”

    陸飛點(diǎn)了下頭，“對(duì)，所以我們現(xiàn)在加班加點(diǎn)地趕制，爭取對(duì)邏輯和華為動(dòng)手之前，能多造幾臺(tái)就多造幾臺(tái)。”

    鄭韓問道：“如果現(xiàn)在邏輯和華為就出現(xiàn)中興斷供的局面，你們又該怎么辦呢？”

    “即使高通和其他供應(yīng)商不向我們出售芯片，我們也不怕，邏輯早就預(yù)料到會(huì)有這么一天，已經(jīng)提前做好了備胎計(jì)劃?！?/br>
    “備胎計(jì)劃？”

    ……

    舊金山，黃金豪宅。

    “mama，為什么爸爸這么久都沒有來看我們？”混血的陸洋躺在床上，眨了眨眼睛。

    “他很快就會(huì)來看我們的?！?/br>
    伊凡卡一把拉上窗簾，走到床沿坐下，捧著兒子的額頭親吻了一口，“睡吧?！?/br>
    “晚安，mama?！?/br>
    “晚安。”

    看到他合上眼，伊凡卡關(guān)掉床頭燈，輕手輕腳地退出臥室，笑容立刻消失。

    就在此時(shí)，手機(jī)里收到了短信。

    一下子，直奔書房，里面的裝修沒有變化，依舊保持了陸飛當(dāng)初的設(shè)計(jì)，來到電腦前，就見《華盛頓郵報(bào)》、《紐約時(shí)報(bào)》等多家媒體已經(jīng)報(bào)道了對(duì)邏輯和華為的制裁——

    邏輯和華為正式加入到清單！

    美利堅(jiān)供應(yīng)商集體斷供！

    “終于來了！”

    伊凡卡興奮不已，雖然自己知道陸飛絕對(duì)不會(huì)輕易地求饒，也不會(huì)像中興那么容易對(duì)付，但又如何？無非是抵抗的時(shí)間長點(diǎn)而已！

    早晚，都得像中興一樣，乖乖來美。

    一念至此，她拉開最下方的抽屜，暗格里藏著一把鑰匙，余光瞄了眼角落不起眼的小房間，推門而入，打開燈光，一道道曖昧的粉色和妖嬈的紫色交織在一起，照亮四周。

    墻壁上掛著許多玩具和cosplay服裝，該死的記憶立刻涌現(xiàn)而出。

    伊凡卡又想起了在這里的點(diǎn)點(diǎn)滴滴，隨手取出一根散鞭，對(duì)著空氣狠狠地?fù)]舞了兩下。

    頓時(shí)間，一聲聲破空聲乍響！

    緊接著，鞭子落在綁在十字架上的布偶身上，就見臉部貼了張“陸飛”的肖像照片。

    “啪啪啪！”

    “為什么不來美利堅(jiān)！”