其作用是將芯片的功能模塊電路系統(tǒng)以及物理結(jié)構(gòu)地圖繪制在印刷母版上，如此才能開始后面芯片的批量制造生產(chǎn)。

    此次測試的芯片正是人工智能實(shí)驗(yàn)室和華威技術(shù)共同設(shè)計(jì)的智能汽車芯片。

    實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人顏愷明將之命名為靈思。

    為7納米工藝芯片。

    這時(shí)徐昀侯盛昌羅長輝等人已經(jīng)來到這臺(tái)極紫外光刻機(jī)主控系統(tǒng)。

    能看到晶圓即將進(jìn)入下一個(gè)光刻階段。

    待這臺(tái)龐大精密半導(dǎo)體設(shè)備運(yùn)行時(shí)，徐昀則在旁邊向侯盛昌介紹。

    “院長?！?/br>
    “這次制造的芯片是一款智能汽車芯片，由深度科技旗下的人工智能實(shí)驗(yàn)室和華威技術(shù)設(shè)計(jì)?！?/br>
    “并且還是使用的應(yīng)龍eda?！?/br>
    說到最后這件事時(shí)，徐昀特意加重了語氣。

    之前新思楷登這幾家海外eda巨頭公司宣布限制他們使用軟件的時(shí)候，侯盛昌就說過不需要擔(dān)心，已經(jīng)有公司再開發(fā)國產(chǎn)eda軟件。

    可見他對華威的應(yīng)龍eda項(xiàng)目是比較了解的。

    不過在聽到這句話后，他眼神中還是不可避免的閃過了些許意外。

    下秒側(cè)過臉問道：“應(yīng)龍項(xiàng)目已經(jīng)完成并且實(shí)際開始應(yīng)用了嗎？”

    顯然這件事很是驚訝。

    當(dāng)然這件事也不能怪他，誰會(huì)想到華威方面選擇大膽嘗試借助人工智能模型輔助軟件開發(fā)后，會(huì)使整個(gè)開發(fā)效率提高這么多。

    否則就算首臺(tái)極紫外光刻機(jī)能交付使用，只怕應(yīng)龍eda還不完善。

    對于這件事倒也沒有隱瞞的必要，徐昀稍作思考便組織好語言解釋。

    “是的院長?！?/br>
    “早在年前應(yīng)龍eda項(xiàng)目就已經(jīng)完成。”

    “那么快？”侯盛昌驚呼。

    徐昀微笑著解答：“這是因?yàn)樗麄兘柚巳斯ぶ悄苣Ｐ捅勘康妮o助?！?/br>
    “原來如此?！焙钍⒉勓粤⒖滔朊靼琢酥虚g情況。

    眼下根據(jù)笨笨復(fù)制來的人工智能深海，已經(jīng)逐步運(yùn)用到各種領(lǐng)域上，并且發(fā)揮出了遠(yuǎn)超人類的能力，輔助軟件開發(fā)自然不算什么。

    這點(diǎn)侯盛昌還是有一定認(rèn)知的。

    “太好了?！?/br>
    “如此我們的芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈就能完全解決，今后不再有什么掣肘了?！?/br>
    隨即他想到這個(gè)情況帶來的作用，臉上的笑容頓時(shí)又盛了幾分。

    周圍其他人雖沒開口發(fā)言，但從神情來看心情也都算不錯(cuò)。

    盡管到現(xiàn)在測試才算剛剛開始，可看到徐昀這波瀾不驚信心十足的狀態(tài)，倒是讓他們都平復(fù)了許多。

    進(jìn)行光刻前晶圓一般要通過高溫加熱方式其表面產(chǎn)生氧化膜，作為光導(dǎo)纖維便于后續(xù)的光刻流程，這也就是所謂的覆膜。

    晶圓完成這項(xiàng)流程后，接下來便是涂抹光刻膠。

    值得一提的是，這可不是霓虹那邊公司生產(chǎn)出來的高端光刻膠。

    而是來源自徐昀碰巧合成的全新光刻膠，檢測表現(xiàn)出來的數(shù)據(jù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過對方。

    關(guān)鍵成本方面更加低廉。

    不過由于先前國內(nèi)并不具有高端光刻機(jī)，所以一直沒有辦法實(shí)際測試。

    今天總算能代替其真正價(jià)值。

    只要表現(xiàn)的足夠穩(wěn)定，那么接下來便可以批量生產(chǎn)保證芯片的制造。

    對此侯盛昌則最為高興，想到因?yàn)樾礻揽茖W(xué)院在光刻膠領(lǐng)域節(jié)省了大量時(shí)間和金錢，便讓人心情舒爽。

    要知道光刻膠可也是芯片制造中的重要環(huán)節(jié)，是必須要攻克的存在。

    以往國內(nèi)沒有高端光刻機(jī)，也就未朝高端光刻膠領(lǐng)域過多發(fā)展。

    進(jìn)行研究的皆以低端光刻膠為主。

    根本無法使用在光刻機(jī)上。

    幸好徐昀機(jī)緣巧合下合成出了全新光刻膠，否則空有光刻機(jī)沒有高端光刻膠，照樣無法完成今天的測試。

    哪怕成功交付，也解決不了半導(dǎo)體領(lǐng)域問題。

    畢竟就算立刻投入大量精力去研究，也不見得能在短時(shí)間內(nèi)研發(fā)出高端光刻膠。

    “這次可要感謝徐教授的光刻膠啊，要不然今天的測試就只能進(jìn)行到這步了?！?/br>
    或許是侯盛昌心情不錯(cuò)，這個(gè)時(shí)候也不忘提起徐昀眼神中滿是喜愛。

    再一次為自己讓徐昀擔(dān)任項(xiàng)目負(fù)責(zé)人的重大決定感到慶幸。

    說起來當(dāng)初也正是徐昀的光刻膠在全球引起比較大的言論熱度，他這才下定決心邀請徐昀過來研發(fā)首臺(tái)國產(chǎn)極紫外光刻機(jī)。

    這時(shí)旁邊的羅長輝也忍不住說：“徐教授的光刻膠確實(shí)解決了我們很大問題?！?/br>
    徐昀聽著兩人給自己戴高帽，心里也是哭笑不得。

    當(dāng)即開口回應(yīng)道：“畢竟是新型光刻膠，具體能否達(dá)到穩(wěn)定的效果，暫時(shí)還不得而知呢。”

    他這話自然不是謙虛。

    這種新型光刻膠從研發(fā)出來并沒有經(jīng)過實(shí)際的高端芯片測試，且目前生產(chǎn)出來的存量也有限，很多地方確實(shí)需要看最終結(jié)果。

    比如對于晶圓廠來說最重要的成品率。

    如果使用這種光刻膠光刻的芯片殘次率較大，那就算光刻膠成本很低，也絕對不會(huì)繼續(xù)使用。

    這也是新型光刻膠很難在國際上有市場的原因。

    基本晶圓廠絕對不會(huì)冒險(xiǎn)。

    否則所造成的損失將直接影響到利潤。

    侯盛昌這會(huì)顯然已經(jīng)對徐昀無比信任，聞言伸手拍了拍徐昀的肩膀?qū)捨康溃骸皼]有你就沒有國產(chǎn)極紫外光刻機(jī)的今天，要多給自己點(diǎn)自信才行?！彼坪踅z毫不覺得今天測試會(huì)有問題。

    隨即光刻機(jī)將極紫外光通過鏡片，照在前面準(zhǔn)備好的集成電路掩膜版上。

    將設(shè)計(jì)師繪制好的電路圖曝光在晶圓上。

    后面則需要溶解光刻膠。

    使光刻過程中曝光在紫外線下的光刻膠被溶解掉。

    清除后留下的圖案和掩模上的一致，再進(jìn)行蝕刻。

    盡管到這一步已經(jīng)非常繁瑣，可后續(xù)還需經(jīng)過離子注入電鍍拋光覆蓋層數(shù)，直至制造出布滿芯片的晶圓。

    雖然這個(gè)等待的過程比較枯燥，徐昀侯盛昌等人卻沒有絲毫的不耐煩。

    在晶圓參考電路圖案和每一塊芯片進(jìn)行對比測試后便開始切片。

    并丟棄瑕疵芯片。

    余下芯片經(jīng)過封裝再次測試后，便能包裝發(fā)貨。

    把整個(gè)流程全部跟下來，可以確定光刻機(jī)的各項(xiàng)功能和運(yùn)行都沒有問題，在設(shè)計(jì)時(shí)的理想?yún)?shù)范圍內(nèi)。

    雖不知道長期運(yùn)行后會(huì)有什么變化，起碼現(xiàn)在通過了測驗(yàn)。

    接下來則只需要確定芯片的瑕疵率，以及生產(chǎn)出的芯片最終性能。

    如果都沒有問題的話，便能夠正式對外界宣布首臺(tái)國產(chǎn)極紫外光刻機(jī)交付。

    相信解釋肯定會(huì)引起全球的轟動(dòng)。

    “拿到最終芯片測試數(shù)據(jù)還要等些時(shí)間，院長還是先去休息室吧?！?/br>
    徐昀稍微松了口氣，特意對身旁的侯盛昌說。

    眼下該看的東西都已經(jīng)看完，接下來光刻機(jī)也會(huì)自行運(yùn)轉(zhuǎn)工作，倒沒必要繼續(xù)留在原地等待。

    “放心吧院長，肯定不會(huì)有問題的?！甭勓耘赃叺牧_長輝也接過話茬附和道。

    侯盛昌年紀(jì)雖然在這放著，可面對讓人魂不守舍的極紫外光刻機(jī)，他寧愿多駐足會(huì)欣賞這個(gè)大家伙。

    可想到結(jié)果出來還要些時(shí)間，而他剛好有其他事情告訴項(xiàng)目組，便不再遲疑當(dāng)即點(diǎn)頭答應(yīng)下來。

    “那好吧。”

    隨著侯盛昌松口，在徐昀的帶領(lǐng)下便一起前往不遠(yuǎn)處的休息室。

    由于其他人還要盯著主控系統(tǒng)記錄數(shù)據(jù)，此刻休息室內(nèi)除了徐昀和侯盛昌外，只有羅長輝院士和楊靖研究員兩個(gè)人。

    國產(chǎn)極紫外光刻機(jī)進(jìn)展迅速，眼看就能正式交付使用制造芯片。

    這使得大家的心情都很不錯(cuò)，連帶休息室的氛圍都輕松了不少。

    “這次可要好好看看海外那些家伙的臉，無論如何他們也不會(huì)想到我們的進(jìn)度會(huì)這么快?！?/br>
    “等我們宣布這個(gè)消息，相信全球都會(huì)動(dòng)容的?！睏罹高@時(shí)接過羅長輝的話微笑著補(bǔ)充了句。

    身邊侯盛昌也是滿臉笑容：“這一天的到來確實(shí)很值得期待?！?/br>
    “已經(jīng)不遠(yuǎn)了?！?/br>
    心情從來沒有像今天這么高興。

    聽著眾人的談話，徐昀要說不高興那絕對是假的。

    不過說實(shí)話他的心思卻不在這上面。

    國產(chǎn)極紫外光刻機(jī)的研發(fā)成功已經(jīng)是板上釘釘，基本不會(huì)出現(xiàn)什么狀況。

    可以說他是否繼續(xù)留在錦城都已經(jīng)無所謂了。

    按照他的計(jì)劃，是等光刻機(jī)測試結(jié)束后，便立刻返回京州市。

    這幾個(gè)月時(shí)間內(nèi)他雖說經(jīng)常回京州陪陳詩禾，但總共時(shí)間并不算多。