第325章
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“那富勒烯的量產(chǎn)……”另一個人問。 “雷電科技今年開春已經(jīng)放出消息石墨烯量產(chǎn)?!彼螁柭暃]有說富勒烯,而只是提了一句石墨烯,就開始收拾資料,準(zhǔn)備去實驗室熟悉一下情況。 他的未盡之語大家都明白了。 唉,碳納米管、石墨烯、富勒烯……這些東西就像是大佬掌心的玩物,想怎么揉搓就怎么揉搓。 吳勇小聲地對曹能能說了一句,“還是你機靈,咱找了個好大腿!” 曹能能有些許得意,“那是!” 要想提高精度,和之前一樣光靠富勒烯是不行了。 他們接下來的目標(biāo)是幾種富勒烯衍生物,一樣是帶酚基的,一樣是含金剛烷還有其他若干。 甚至是非富勒烯體系的,也在他們研究之列。 一些則是現(xiàn)在普遍用的光刻膠,一些是國內(nèi)學(xué)者研究地很多的9,9\'-螺二芴衍生物和雙酚a衍生物,還有一些分子玻璃膠、酚醛樹脂膠等等。(1) 這些都在他們的考察之列。 宋問聲不可能因為自己有資料,就放棄研究其他的東西。 這樣會故步自封。 起得比雞早,睡得比狗晚,大概就是他們這樣的了,就連飯是在等待實驗的時候吃。 最忙碌的應(yīng)該是宋問聲。 他親自指點那幾個研究員合成富勒烯系列的衍生物,有時候還要去看看其他人合成得怎么樣。 而曹能能和吳勇他們也是各自帶領(lǐng)人研究別的,他們的經(jīng)驗也只是對別的,富勒烯這邊他們插不上什么手。 有了宋問聲時不時的指點,他們整個光刻膠小組每三天工作進度匯報上,永遠都是走在最前列的。 時間只有六個月。 進入221項目大半個月的時候,他們的帶酚基富勒烯光刻膠就已經(jīng)驗收成功,可以用在10nm-14nm的芯片制造當(dāng)中。 這件喜事被迅速通報給全基地,給研發(fā)光刻機陷入低迷狀態(tài)的研究員們帶來一些鼓勵和安慰。 在得知這是宋問聲領(lǐng)導(dǎo)的小組之后,眾人只有膜拜和感慨幾個詞語來形容他們此時此刻的心情了。 宋問聲不愧是論文刷子! 不,應(yīng)該說是科研殺手,在你意想不到的時候總是給人來那么一下,帶來的不是絕望而是希望。 有了這件事情當(dāng)做典型,基地里的許多研究員再次拾起剛來的時候的雄心壯志,重新上路。 曹能能和吳勇他們也在加緊,但是他們不是宋問聲,沒有那種如有神助的科研直覺和系統(tǒng),只能靠他們的科研經(jīng)驗摸索。 他們也很不錯,在一個月內(nèi),把以前使用的金屬氧化物的聚合物光刻膠的精度提高到了可以在65nm-90nm的芯片制造當(dāng)中使用,當(dāng)然這里頭離不開宋問聲的指點。 本來有些小得意的他們,很快又被宋問聲打敗。 富勒烯衍生物 im-mfpt在制程10nm以內(nèi)表現(xiàn)出了比含酚基的富勒烯光刻膠更好的靈敏度和分辨率、低線寬粗糙度、高耐蝕刻性和工業(yè)加工相容性。(1) 而宋問聲他們也迅速突破到了精度為5-10nm之內(nèi)的芯片制造所使用的光刻膠。 作者有話說: (1)來自于《7 nm 高分辨率極紫外光刻膠研究新進展》,譚俊玉; (2)看到新聞?wù)f要有3nm的光刻機量產(chǎn)了,我心里一陣著急; (3)富勒烯量產(chǎn)是個漏洞,我都忘記了,現(xiàn)在只能幾句話補回來,前頭光刻膠測試的時候忘記提一提中芯國際和芯片流片的問題了,大家忽略吧。 (4)謝謝大家的支持!感謝在2022-08-18 23:53:28-2022-08-20 20:17:10期間為我投出霸王票或灌溉營養(yǎng)液的小天使哦—— 感謝灌溉營養(yǎng)液的小天使:春花秋月何時了 10瓶;歷史必修 5瓶;曉雪 3瓶; 非常感謝大家對我的支持,我會繼續(xù)努力的! 第173章 各懷鬼胎 這件事情報到應(yīng)富華那里, 他也不敢相信,馬上就站了起來,打算去看看宋問聲那里的情況。 他一直沒有對光刻膠小組進行太多管教,一個是因為光刻膠研究其實獨立在光刻機之外也可以進行, 還有一個原因就是上面想再看看宋問聲單獨帶領(lǐng)一個小組做項目會是什么樣子。 宋問聲已經(jīng)有過多次組織實驗項目的經(jīng)驗, 領(lǐng)導(dǎo)一個小組和領(lǐng)導(dǎo)一個課題組對于他來說區(qū)別不大, 只要他一日是諾獎得主,一日他都帶有光環(huán), 這些人一日都不敢小瞧他。 他甚至覺得他可以自己開發(fā)出一個「震懾」的技能。 上回只是部分工程師來驗收成果,這一回是總工程師應(yīng)富華帶隊,可想而知應(yīng)富華對這件事情的看重程度。 來的時候,應(yīng)富華也沒有說什么, 只是跟在專業(yè)的研究人員后面,看他們驗收成果。 驗收成果不是一朝一夕, 如果是在外面的實驗室,可能需要拿去專門的實驗室里去驗證,但是在這里,不需要。 他們有自己的渠道。 而結(jié)果,明天會得出來。 一些基本數(shù)據(jù)是沒有問題的, 真刀真槍還是要顯露在光刻機上,在芯片上。 應(yīng)富華拍拍宋問聲的肩膀, “宋院士這是狀態(tài)正佳?!?/br> 宋問聲謙虛的笑了笑,“之前進行過相關(guān)研究, 也對后續(xù)有些設(shè)想, 現(xiàn)在能夠?qū)崿F(xiàn)出來, 證明我的想法是對的。” 應(yīng)富華看了看整個光刻膠實驗室里的研究員都走出來看他們了, 臉上有些微的笑容, 不多,轉(zhuǎn)瞬即逝,最后還是端起了威嚴(yán)的架子,“想吃什么想喝什么,和警衛(wèi)員說,讓他們采購,就當(dāng)做是犒勞了?!?/br>