第330章
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準(zhǔn)確的來(lái)說(shuō),宋問(wèn)聲他們只有半個(gè)月的時(shí)間,剩下的半個(gè)月,他們必須對(duì)這種材料的很多性能有足夠了解。 方林山攥了攥拳頭,那種窒息一樣的壓力再次襲上心頭,每一次他都當(dāng)成挑戰(zhàn)不會(huì)后退,這一次也是這樣。 在宋問(wèn)聲的指揮當(dāng)中,實(shí)驗(yàn)開(kāi)始。 實(shí)驗(yàn)室的最前面全部貼滿(mǎn)了宋問(wèn)聲對(duì)這種特殊材料的要求,以及合成原理和過(guò)程,他所預(yù)想的性能。 原來(lái)光刻膠小組不再需要他頻繁地指導(dǎo),他偶爾會(huì)回去看看,了解一下實(shí)驗(yàn)進(jìn)度,其他的時(shí)間,他基本上是泡在材料研究實(shí)驗(yàn)室這邊。 皇天不負(fù)苦心人,在過(guò)程當(dāng)中除了他稍稍修改了一下這個(gè)材料的外殼,使之更加貼合他想要的性質(zhì)之外,在他的科研直覺(jué)指導(dǎo)之下都是順風(fēng)順?biāo)摹?/br> 二十五天之后,他將這款材料的樣品還有測(cè)試性質(zhì)性能報(bào)告全部提交到應(yīng)富華那邊。 應(yīng)富華找了另外幾個(gè)小組內(nèi)的專(zhuān)家對(duì)這些材料進(jìn)行審核驗(yàn)收,經(jīng)過(guò)他們?cè)俅蔚臏y(cè)試,證實(shí)這種新興的復(fù)合材料可以應(yīng)用在光刻機(jī)的光源上,甚至可以更好的使光源的強(qiáng)弱發(fā)生想要的變化。 三十天,微機(jī)電系統(tǒng)分流人配合宋問(wèn)聲研發(fā)自由照明光源的核心部分。 宋問(wèn)聲不太了解這方面在,只能說(shuō)是配合他們,但是也收獲良多。 此時(shí)他對(duì)光刻機(jī)攻克任務(wù)的貢獻(xiàn)值已經(jīng)來(lái)到了8%。 看起來(lái)微乎其微。 但是卻耗費(fèi)了宋問(wèn)聲不少心血。 不過(guò)他還沒(méi)有死心,應(yīng)了另外一位殷教授的邀約,去看看他們開(kāi)發(fā)的工件臺(tái)系統(tǒng)。 工件臺(tái)主要負(fù)責(zé)承載和運(yùn)輸硅片。 聽(tīng)上去似乎很簡(jiǎn)單,但是里面的技術(shù)含量很高。 在以前芯片行業(yè)還有不少對(duì)手的時(shí)候,asml開(kāi)發(fā)了雙工件臺(tái)系統(tǒng),博得了眾多賣(mài)家的青睞,一躍成為光刻機(jī)領(lǐng)域的龍頭企業(yè)。 而現(xiàn)在的事實(shí)是我們國(guó)家對(duì)于研發(fā)這樣的工件臺(tái)系統(tǒng)還有一定的難度。 工件臺(tái)系統(tǒng)包括載片臺(tái)、電機(jī)等,其中比較重要的是調(diào)平調(diào)焦機(jī)構(gòu)和雙頻干涉儀等。 技術(shù)難點(diǎn)在于掩模模板的設(shè)計(jì)還有檢測(cè)系統(tǒng),這些都被美國(guó)公司所壟斷。 asml的工件臺(tái)工作順序是位于曝光光位的工件臺(tái)進(jìn)行硅片曝光的同時(shí),另一個(gè)工件臺(tái)對(duì)曝光硅片進(jìn)行形貌測(cè)量等等(1),是正好一個(gè)往復(fù)循環(huán),絕對(duì)不會(huì)浪費(fèi)一絲時(shí)間的。 宋問(wèn)聲對(duì)這個(gè)cao控算法有些興趣,因?yàn)槔锩孢\(yùn)用到很多來(lái)自于拓?fù)鋵W(xué)的數(shù)學(xué)知識(shí),在這方面,他舍我其誰(shuí)? 觀察了一段時(shí)間之后,他饒有興趣的和殷教授討論這個(gè)問(wèn)題。 殷教授嘆氣,“這方面也是簡(jiǎn)單,兩個(gè)不行,咱們還可以做三個(gè)、四個(gè),無(wú)非是運(yùn)作順序的問(wèn)題,這里頭的技術(shù)難點(diǎn)還是怎么精準(zhǔn)測(cè)量到被曝光硅片的形貌。” 在這方面宋問(wèn)聲也沒(méi)有太多想法,回去在內(nèi)部網(wǎng)下載了很多這方面的資料之后,就開(kāi)始自己琢磨。 于是這段時(shí)間,方林山他們這些人徹底失寵了。 他們的組長(zhǎng)宋問(wèn)聲已經(jīng)跑到隔壁的隔壁去了。 不過(guò)方林山他們還是做得很開(kāi)心,之前他們沒(méi)有太多的存在感,現(xiàn)在有成果出來(lái)了,可以說(shuō)是在大家面前說(shuō)話底氣都足了,現(xiàn)在他們還在對(duì)這個(gè)材料進(jìn)行研究。 不需要擴(kuò)大化生產(chǎn),他們至少也要在實(shí)驗(yàn)室多弄點(diǎn)樣品出來(lái),所以他們?cè)诟倪M(jìn)合成路線,沒(méi)有之前壓力那么大,也是忙得不可開(kāi)交。 偶爾有閑下來(lái)的時(shí)候,他們就會(huì)思考,為什么他們搞一件事情都很累了,宋問(wèn)聲還會(huì)有精力去跨界,而且還能做的很好呢? 這個(gè)問(wèn)題他們想也不會(huì)知道真的答案,只能自認(rèn)為是老天爺給飯吃吧。 隨著微機(jī)電分流人員對(duì)自由照明光源的開(kāi)發(fā),宋問(wèn)聲對(duì)任務(wù)的貢獻(xiàn)度也漸漸的來(lái)到了10%,增長(zhǎng)速度還有,只是變得十分緩慢。 宋問(wèn)聲日以繼夜的查看內(nèi)部網(wǎng)資料,丟落的稿紙被揉成團(tuán),堆滿(mǎn)了垃圾筐,溢出來(lái),警衛(wèi)員沒(méi)有允許是不會(huì)進(jìn)入他們的房間進(jìn)行打掃的。 所以在那之后三天,宋問(wèn)聲也沒(méi)有管這越來(lái)越多的紙團(tuán),直到有一天他走進(jìn)來(lái),發(fā)現(xiàn)自己的辦公桌周?chē)谷粵](méi)處下腳,才意識(shí)到最近自己有些走火入魔了。 在還沒(méi)有開(kāi)科技文之前,他看著榜單上的科技文,也會(huì)有開(kāi)一篇的沖動(dòng)。 一位網(wǎng)文界的前輩說(shuō)過(guò),如果寫(xiě)這本問(wèn)你要查找資料的程度大于百分之五十,那么很有可能把握不住。 宋問(wèn)聲看著電腦屏幕上的干涉儀的三維圖形,背后靠在椅子上,手捶打了一下肩膀。 他總是覺(jué)得還差了三四步什么,但是第六感這個(gè)時(shí)候又不是經(jīng)常出來(lái)了。 眼看著靈感就要消失掉,他把目光投向了自己最后一瓶潛力藥水。 作者有話說(shuō): (1)來(lái)自于《深紫外光刻機(jī)照明系統(tǒng)關(guān)鍵檢測(cè)技術(shù)研究》,劉志帆; (2)今天回老家祭拜了,回來(lái)好累,所以晚了一點(diǎn); (3)謝謝大家的支持! 感謝在2022-08-21 20:52:56-2022-08-22 23:54:58期間為我投出霸王票或灌溉營(yíng)養(yǎng)液的小天使哦—— 感謝灌溉營(yíng)養(yǎng)液的小天使:幾何 3瓶; 非常感謝大家對(duì)我的支持,我會(huì)繼續(xù)努力的! 第176章 又驚又喜 除了剛開(kāi)始的時(shí)候, 平常他再怎么困難都不怎么想要借助潛力藥水這種外物,也壓根不會(huì)想到他。